针对使用绝缘电阻测试仪测试薄膜式样,电极的选择至关重要,因为它直接影响电场分布、接触质量和测试结果的准确性。
对于薄膜材料,最推荐的是三电极系统,这也是国际标准(如ASTMD257,IEC60093)所采用的方案。它能最准确地分离出体积电阻率和表面电阻率。
推荐:三电极系统
三电极系统包括:
1.主电极:施加测试电压的电极。
2.保护电极:环绕在主电极周围,用于“引导"掉表面泄漏电流,确保流过被测材料的电流主要是通过其体积的电流。
3.对电极:位于样品另一侧的完整电极,作为电流的回路。
对于薄膜式样,具体的电极类型推荐如下:
1.带保护环的平板电极
这是实验室和标准测试中、的配置。
结构:由一个圆柱形主电极和一个同心的环形保护电极组成,它们在同一平面上但与测试仪的不同端子相连。对电极是另一个完整的平板电极。
优点:
能有效消除表面泄漏电流和边缘效应的影响。
测试结果准确可靠,重复性好。
可直接用于计算体积电阻率和表面电阻率。
对薄膜的适配性:
需要确保薄膜被平整地夹在两个电极之间。
电极施加的压力要均匀、适度,避免压伤薄膜,同时又保证良好接触。
2.导电橡胶或导电泡沫电极
如果您的薄膜表面不平整或质地较软,硬质金属电极可能导致接触不良。
结构:将导电橡胶或泡沫制成三电极结构(主电极、保护环、对电极)。
优点:
柔韧性好,能自适应薄膜表面的微观不平整。
接触电阻低,且不会划伤薄膜表面。
注意事项:确保导电橡胶的电阻率远低于薄膜的电阻率,且本身清洁无污染。
3.真空电极
对于超薄、易变形或需要绝对无压力接触的薄膜,这是顶级选择。
结构:电极板上有微小的真空孔,通过抽真空将薄膜平整地吸附在电极表面上。
优点:
无需机械压力,避免任何物理损伤。
确保薄膜与电极之间紧密接触,无空气间隙,结果极其准确。
缺点:价格昂贵。
4.蒸发或溅射金属电极(制备电极)
如果您需要在特定位置进行测试,或者薄膜本身不适合夹持,可以采用此方法。
方法:通过真空镀膜技术在薄膜表面直接沉积出三电极图案的金属层(如金、银、铝)。
优点:
电极与薄膜接触,形状和位置精确。
非常适合研究薄膜本体特性,排除了所有接触问题。
缺点:
属于破坏性测试,测试后样品被电极污染或覆盖。
需要昂贵的镀膜设备,过程复杂。
不推荐用于精密测试的电极
简单的两个平行板电极:无法消除表面电流,测得的电阻是体积电阻和表面电阻的并联值,结果不准确,尤其对于高阻薄膜误差巨大。
两个探针或点电极:电场分布极不均匀,接触电阻大,结果毫无可比性,仅能用于定性判断。
总结与选购/使用建议
带保护环平板电极|准确、标准、可分离体积/表面电阻|对样品平整度要求高|绝大多数薄膜测试的,研发、质检
导电橡胶电极|接触好、不伤样品|自身电阻可能引入误差|表面不平整的软质薄膜
真空电极|无接触、精度|价格昂贵|超薄膜、精密研究、标准实验室
蒸发/溅射电极|接触最佳、位置精确|破坏性、设备昂贵|材料本征特性研究
操作要点:
1.清洁:确保薄膜样品和电极表面绝对清洁,无灰尘、指纹和湿气。
2.平整:薄膜样品应尽可能平整。
3.接触:使用平板电极时,施加均匀适当的压力。
4.环境:在可控的温湿度环境下测试,因为绝缘电阻对环境非常敏感。
结论:
对于绝缘电阻测试仪测试薄膜式样,强烈推荐使用“带保护环的三电极系统"。如果您是进行科学研究、质量检验或需要符合标准,这是正确的选择。如果预算充足且样品非常精密,可以考虑真空电极。请根据您的测试精度要求、预算和样品特性做出最终选择。

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